Wafer Vor- und Endreinigung
Modulare Einheiten von Elma zur Reinigung (Vor- und Endreinigung) mit integrierter automatischer Nassvereinzelung bilden eine Gesamtanlage mit Durchsatzleistungen bis zu 3600 Wafer/Stunde, verbunden mit den Vorteilen einer batchbezogenen Reinigung hinsichtlich Qualität und Flexibilität. (Gleichzeitige Nutzung der Anlage mit bis zu zwei Formatgrößen möglich)
Elma STC Robotanlagen
Photovoltaik Prospekt