Solar

Reinigungsanlagen für Photovoltaiksysteme und Solarwafer

• Vorreinigung mit Wafervereinzelung
• Endreinigung vor der Waferkontrolle
• Komplette Reinigungsstraße mit Vor- und Endreinigung einschließlich automatischer Wafervereinzelung für Silizium Solarwafer
• Reinigung nach der Fotolithografie von Ge-GaAs Solarwafer und Ge Substraten
• Endreinigung vor der Beschichtung

Photovoltaik Prospekt